M-He200氦气混合系统

本设备属于外接模块化设备，使用时将代替原有工艺腔体的进气模块。其功能包括：

1. 取代原有设备补气功能；
2. 按设定要求进行混气；
3. 混气时自动切断干扰气源（例如：手动补气等）调节阀。

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• 氦气混合系统技术指标：

1. 混和气体最大流量：200sml
2. He₂占比浓度：0%~10%vol
3. He₂分辨率：0.01% vol
4. He₂准确度：≤±3%FS

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• 设备特点

1. 直接控制工艺腔体内氦气浓度，能更好的满足工艺需求
2. 无缝对接多种手套箱等工艺腔体；
3. 操作简单，维护便捷；

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• 设备配置：
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